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불산 기상 식각 장비(HF Vapor Phase Etcher)(데모테스트 문의)
VPE 100/150/200 -
마스크 얼라이너(Shadow Mask Aligner)(데모테스트 문의)
SMA / Double Image Microscope -
Remote Plasma System (데모테스트 문의)
Radical plasma source (Refelction 0.1%미만) 29kg Compact design -
마그네트론 헤드(마이크로파 발생장치) (데모테스트 문의)
Generator 915, 2450, 5800 Mhz Isolator 내장형 -
Power Supply(Touch screen간편 조종)
SMPS 1kW~100kW, Solid States ~2kW -
웨이퍼 척(Wafer Chucks)
Wet Process Wafer Chucks, Electrostatic Chucks, Multiple Chip Vacuum Chuck -
스핀코터(Spin Module) (데모테스트 문의)
SM-150(BT & BM), SM-200(Cabinet & BM), SM-300(Cabinet & BM), SM-600, SM-900 -
스핀드라이어(Spin Rinse Dryer)
SRD-50-100 -
3-Stub Tuner
WR284, 340, 975 / 1kW~100kW -
Auto Tuner
WR284, 340, 975 / 1kW~100kW -
마그네트론(Magnetrons)
magnetron 915-5800[Mhz] 1kW~100kW -
Circulator
WR 284, 340, 975 1kW~100kW -
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컴포넌트(Components)
Dosing Pump, Supply Pump, Dosing Valve, Controller -
웨이퍼 본딩 검사 장비(Wafer Bonding Inspection Device)
WBI 100/150/200 -
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UV LED 노광 시스템(UV LED Exposure System for Photolithography)
UV-EXP150R, 150S, 200S, 300S, 600S -
적외선 마이크로스코프(Infrared Microscope)
IRM 200
