-
-
UV LED 노광 시스템(UV LED Exposure System for Photolithography) (테스트 문의)
UV-EXP150R, 150S, 200S, 300S, 600S -
스핀코터 (Spin Module) (데모 테스트 문의)
SM-150(BT & BM), SM-200(Cabinet & BM), SM-300(Cabinet & BM), SM-600, SM-900 -
Remote Plasma System (데모테스트 문의)
Radical plasma source (Refelction 0.1%미만) 29kg Compact design -
마그네트론 헤드(마이크로파 발생장치) (데모테스트 문의)
Generator 915, 2450, 5800 Mhz Isolator 내장형 -
마그네트론(Magnetrons)
magnetron 915-5800[Mhz] 1kW~100kW -
Power Supply(Touch screen간편 조종)
SMPS 1kW~100kW, Solid States ~2kW -
3-Stub Tuner
WR284, 340, 975 / 1kW~100kW -
Auto Tuner
WR284, 340, 975 / 1kW~100kW -
Circulator
WR 284, 340, 975 1kW~100kW -
-
-
핫플레이트(Hot Plate) (데모 테스트 문의)
HP-150(BT & BM), HP-200(BT, BM & Cabinet), HP-300(BT, BM & Cabinet), HP-300-Z, HP-600 -
불산 기상 식각 장비(HF Vapor Phase Etcher)(데모테스트 문의)
VPE 100/150/200 -
-
-
-
-
-
-
-
-
마스크 얼라이너(Shadow Mask Aligner)(데모테스트 문의)
SMA / Double Image Microscope -
-
스핀드라이어(Spin Rinse Dryer)
SRD-50-100 -
웨이퍼 척(Wafer Chucks)
Wet Process Wafer Chucks, Electrostatic Chucks, Multiple Chip Vacuum Chuck -
-
디벨로퍼(Developer) / 엣처(Etcher)
SMD-200(Cabinet & BM), SMD-300(Cabinet & BM), SMD-200-E(Cabinet & BM), SMD-300-E(Cabinet & BM), SMD-600 -
스프레이코터(Spray Coater)
iSPRAY-300 Cabinet -
로보 모듈(ROBO module)
Combi SM/HP, Combi ispray/HP, Combi SMD/HP
