제품 상세설명
[ Si wafer ]
- Size : 3, 4, 5, 6, 8, 12inch
- Orientation: <100>, <110>, <111>, off angle possibility
- Type: P (Boron), N (Phos, Antimony, Arsenic)
- Polish : SSP (Single Side Polished) / DSP (Double Side Polished)
- Grade : Prime(반도체 소자를 만드는 생산용), Test(공정 Check용), Dummy(Test급보다 Rough한 것)
- Oxide layer thickness: 1,000 - 20,000 A (Dry/Wet)
- Nitride layer thickness : 1,000 - 20,000 A (Normal/Low stress)
- 기타 웨이퍼 및 원하는 사양 문의 가능
[ SiC wafer ]
- Size : 2, 3, 4inch
- Wafer Orientation: On axis : <0001>±0.5˚, Off axis : 1.0/3.5/4.0/8.0, Toward : <11-20>±0.5˚
- Primary Flat Orientation : (10-10) ± 5.0˚
- Secondary Flat Orientation : Silicon face up : 90° cw. from Prime flat ± 5°
- Micropipe Density : ≤ 5cm-2
- Resistivity : 0.01 Ω·cm ~ 0.03 Ω·cm, 0.02 Ω·cm ~ 0.1 Ω·cm, (90%) > 1E5 Ω·cm
- Grade : Prime(반도체 소자를 만드는 생산용), Test(공정 Check용), Dummy(Test급보다 Rough한 것)
- 기타 웨이퍼 및 원하는 사양 문의 가능
[ Glass wafer ]
- Size : 4, 5, 6, 8 inch
- Polish : SSP (Single Side Polished) / DSP (Double Side Polished)
- Shape : Round, 1 Flat, 2 Flat
- Edge Form : Straight, Chamfer
- Material : Sodalime, E-2000, Pyrex, Borofloat, Borosilicate (D263T), and etc.
- 기타 웨이퍼 및 원하는 사양 문의 가능
[ Sapphire wafer ]
- Size : 2, 3, 4, 6inch (C-plane), 2inch (A, R, M-plane)
- 기타 웨이퍼 및 원하는 사양 문의 가능
[ Quartz wafer ]
- Size : 4, 6, 8inch (DSP)
- 기타 웨이퍼 및 원하는 사양 문의 가능
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