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SEMICONDUCTOR DIVISION

KMPR 1000 요약정보 및 구매

Chemically Amplified Negative Photoresist series

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제조사 KAYAKU ADVANCED MATERIALS (since MicroChem Corp.)
원산지 USA
브랜드 KMPR 1000 series
모델 KMPR 1005~1035

제품 기본설명

Chemically Amplified Negative Photoresist series

제품 상세설명

▣ Excellent adhesion to metals

▣ Aqueous developer compatible(2.38% TMAH)
▣ Wet strips in conventional strippers
▣ Greater than 100 µm film thickness in a single coat
▣ High aspect ratio with near vertical sidewalls
▣ Excellent plating resistance
▣ High chemical and plasma resistance

▣ Excellent dry etch resistance
 

KMPR, SU-8 제거 가능

- Microwave Plasma로 기판에 데미지 없이 PR 제거 가능.

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