제품 상세설명
Muegge사의 Remote plasma source의 특징은 매우 컴팩트하게 디자인 되어있으며 각도의 변경 또한 용이합니다.
또한 turnkey integration을 쉽게 적용할 수 있도록 설계되었으며 광범위한 가스, 가스 흐름, 압력 및 전력을 포함하는 flurine, 혹은 non-fluorine공정에 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
세라믹 어플리케이터는 우수한 입자 성능에서 다양한 공정에 사용할 수 있고 특허받은 R3T 설계는 높은 처리량, 긴 수명 및 낮은 CoO*에 최적화 되어 있습니다.
Remote Plasma Source MA3000C-703BB Specifications:
| Specifications: | |||
| Microwave-Power: | 3000 W cw max. | Cooling water Connection magnetron unit: Connection plasma source: |
≥ 4 (1,06) l/min (US.gal/min), ≤
4 (58,02) bar (psi) @ 20 - 25 (68 - 77) °C (°F) Stäubli (CBI 06.7151/IA/JV) Stäubli (CBI 06.1151/IA) |
| Frequency | 2450 MHz +-20 MHz | Discharge tube: | Ceramic |
| Reactor Outlet connector: |
KF 40 | Dimensions: | Compact design width: 276,5 (10,89) mm (inch) height: 342,5 (13,48) mm (inch) depth: 568,3 (22,37) mm (inch) |
| Magnetron: | 3000 W @ 2450 MHz | Conditions: | 5°C (41°F) – 45°C (113°F)
noncondensing T max. = 45°C (113°F) < 3 h / day 80% to 30 °C (86 °F), above linearly reduced to 50 % at 45 °C (113 °F) |
| Prim. Power circuit: Connection: |
ㅡ5100 DC 0.84
A Lemosa (ERA,3Y,415,CA) |
Prim. Heating circuit: Connection: |
230 V AC / 50 / 60 Hz / 0,38
A Phoenix Contact (1605520) |
| Primary control Circuit: Connection: |
24 V/ DC/
0.2A Various (RJ45) |
Weight: | Approximately: 29 (63,93) kg (lbs) |
| Applicator alignment: | 90 ° | Operating pressure: | 0.2 - 2 torr (maximum 5 torr) |
| Gas connection: | Swagelok (SS-4-VCR-1-2RS) | Process gases: | O2, N2, H2, F2,
Ar, NH3, CF4 and other Fluorine based gases |
관련제품
등록된 상품이 없습니다.
